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dc.contributor.advisorBoudinov, Henri Ivanovpt_BR
dc.contributor.authorSilva, Ricardo Cunha Gonçalves dapt_BR
dc.date.accessioned2007-06-06T19:06:34Zpt_BR
dc.date.issued2004pt_BR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10183/7461pt_BR
dc.description.abstractO conhecimento da física de semicondutores foi usado para desenvolver e otimizar um sensor ótico de silício capaz de determinar com precisão a posição bidimensional de incidência de um feixe de luz em sua superfície. O sensor usa o efeito de fototensão lateral para gerar um sinal elétrico de saída que é função da posição de incidência da luz. Tecnologia planar do silício foi usada na fabricação do dispositivo, incluindo implantação iônica, difusão, fotolitografia, deposição de filmes metálicos e crescimento de dielétricos. A caracterização elétrica do sensor inclui medidas estáticas, com a distribuição de portadores em regime estacionário, medidas dinâmicas, onde é analisado o transiente do sinal elétrico e medidas espectroscópicas para analisar a resposta do sensor em função do comprimento de onda da luz incidente. Simulações dos processos de fabricação, parâmetros dos passos tecnológicos, distribuição dos portadores e do potencial elétrico bidimensional no sensor foram usadas para a otimização das características do sensor.pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoporpt_BR
dc.rightsOpen Accessen
dc.subjectOticapt_BR
dc.subjectSiliciopt_BR
dc.subjectFotodetectorespt_BR
dc.subjectSensores óticospt_BR
dc.subjectSemicondutorespt_BR
dc.subjectPotencial eletricopt_BR
dc.subjectMicroeletrônicapt_BR
dc.subjectJunções p-npt_BR
dc.titleDesenvolvimento e otimização de um fotodetector de silício bidimensional sensível à posiçãopt_BR
dc.typeDissertaçãopt_BR
dc.contributor.advisor-coCorreia, Ricardo Rego Bordalopt_BR
dc.identifier.nrb000545418pt_BR
dc.degree.grantorUniversidade Federal do Rio Grande do Sulpt_BR
dc.degree.departmentInstituto de Físicapt_BR
dc.degree.programPrograma de Pós-Graduação em Ensino de Físicapt_BR
dc.degree.localPorto Alegre, BR-RSpt_BR
dc.degree.date2004pt_BR
dc.degree.levelmestradopt_BR


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