Browsing Physics by Subject "Nitretos"
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Crescimento térmico de filmes dielétricos sobre SiC e caracterização das estruturas formadas
(2003) [Thesis]Na presente tese, foi investigado o crescimento térmico de filmes dielétricos (óxido de silício e oxinitreto de silício) sobre carbeto de silício. Além disso, os efeitos da irradiação iônica do SiC antes de sua oxidação, ...