Browsing Physics by Subject "Difusao : Gases : Implantacao de ions"
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Difusão de gases nobres implantados em fotoresistes
(1995) [Thesis]No presente trabalho foram estudados de uma forma sistemática os diversos parâmetros que podem influenciar o mecanismo de difusão de gases nobres implantados em fotoresistes. Com este propósito foram implantadas amostras ...