Browsing Physics by Subject "Óxido de alumínio"
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Propriedades físico-químicas de filmes finos de Al2O3 depositados por sputtering sobre Ge
(2011) [Dissertation]Nesta dissertação, foram investigadas as propriedades físico-químicas de filmes finos de óxido de alumínio (Al2O3). O Al2O3 foi depositado sobre substratos germânio (Ge) e silício (Si) por magnetron sputtering reativo, ...