Navegação Física por Autor "Oliveira, Roana Melina de"
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Dopagem tipo-n em estruturas SIMOX
Oliveira, Roana Melina de (2007) [Dissertação]Foram estudadas a ativação elétrica e a redistribuição de As (dopante tipo n) implantado em SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Estruturas SIMOX com diferentes espessuras da camada superficial de Si e do óxido enterrado ...