• Dopagem tipo-n em estruturas SIMOX 

      Oliveira, Roana Melina de (2007) [Dissertação]
      Foram estudadas a ativação elétrica e a redistribuição de As (dopante tipo n) implantado em SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Estruturas SIMOX com diferentes espessuras da camada superficial de Si e do óxido enterrado ...