Navegação Física por Autor "Miotti, Leonardo"
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Transporte atômico e estabilidade em dielétricos alternativos para a tecnologia do Si
Miotti, Leonardo (2007) [Tese]Esta tese trata do estudo experimental de fenômenos de transporte atômico e reação química em filmes ultra-finos dielétricos sobre Si. Esses dielétricos são materiais alternativos ao óxido de silício utilizado em dispositivos ... -
Transporte atômico e incorporação de oxigênio em filmes de HfSiO e HfSiON depositados sobre Si
Miotti, Leonardo (2004) [Dissertação]Esse trabalho estuda a estabilidade térmica e o transporte atômico em filmes dielétricos de HfSiO e HfSiON depositados por sputtering reativo sobre c-Si. Esses materiais possuem alta constante dielétrica (high- ) e são ...