Navegação Física por Assunto "Reações químicas"
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Filmes finos dielétricos para dispositivos microeletrônicos avançados
(2003) [Tese]Apresentamos mecanismos de formação e de degradação térmica de filmes fi- nos (espessura da ordem de 10 nm) de diferentes dielétricos sobre substrato de silício monocristalino. Tendo em vista a aplicação dessas estruturas ...