Browsing Physics by Author "Dalponte, Mateus"
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Junções rasas em Si e SIMOX
Dalponte, Mateus (2004) [Dissertation]Foi estudado o comportamento do As (dopante tipo n) em dois tipos diferentes de substratos de Si: bulk e SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Ambos os substratos receberam uma implantação de 5x1014 cm-2 de As+ com energia ... -
Redistribuição e ativação de dopantes em Si com excesso de vacâncias
Dalponte, Mateus (2008) [Thesis]A redistribuição e ativação elétrica dos dopantes tipo n (As e Sb) e tipo p (Ga e In) em Si com excesso de vacâncias foram analisadas. As vacâncias foram geradas por implantação iônica de altas doses de oxigênio ou nitrogênio ...