Navegação Microeletrônica por Assunto "Implantacao ionica"
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Formação de nanopartículas de Sn e PbSe via implantação iônica em Si(100)
(2009) [Tese]O silício (Si) é o material mais utilizado na fabricação de dispositivos microeletrônicos e fotovoltaicos devido às suas excelentes propriedades físicas e ao alto grau de desenvolvimento das tecnologias de produção alcançadas ...