Browsing Microelectronics by Subject "Fotoluminescência"
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Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputterin reativo
(2016) [Thesis]Filmes finos de nitreto de silício com excesso de nitrogênio foram depositados sobre silício por sputtering reativo para obter estruturas emissoras de luz. As amostras foram modificadas por implantação iônica para verificar ... -
Fotoluminescência de nitreto de silício não estequiométrico depositado por sputtering reativo
(2012) [Dissertation]Nanoestruturas de silício incorporadas em matrizes dielétricas são promissoras para aplicação em dispositivos optoeletrônicos. Neste trabalho, estudamos a influência dos diferentes parâmetros de deposição para filmes de ...