Navegação Microeletrônica por Assunto "Filmes finos"
Resultados 1-3 de 3
-
Estabilização de filmes finos de óxido de germânio por incorporação de nitrogênio visando aplicações em nanoeletrônica
(2013) [Dissertação]De maneira a melhorar o desempenho de um Transistor de Efeito de Campo Metal-Óxido-Semicondutor (MOSFET), o germânio (Ge) é um forte candidato para substituir o silício (Si) como semicondutor, devido a sua alta mobilidade ... -
Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputterin reativo
(2016) [Tese]Filmes finos de nitreto de silício com excesso de nitrogênio foram depositados sobre silício por sputtering reativo para obter estruturas emissoras de luz. As amostras foram modificadas por implantação iônica para verificar ... -
Sistema de spray pirólise com movimento horizontal microcontrolado para deposição de filmes finos de TiO2.
(2020) [Dissertação]Nesta dissertação descrevemos a construção de um equipamento para deposição de filmes finos por spray pirólise para aplicações futuras em fotocatálise. Para demonstrar o funcionamento do equipamento usaremos a deposição ...
