Navegação Microeletrônica por Assunto "Sensores magnéticos"
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Fabricação e caracterização de um sensor múltiplo sensível à posição
(2011) [Dissertação]Este trabalho aborda o design, a fabricação e a caracterização de um sensor óptico de posição, o múltiplo PSD (Position Sensitive Detector). O sensor é composto de 64 PSDs unidimensionais em paralelo. O PSD é um sensor do ...