Browsing Exact and Earth Sciences by Subject "Filmes finos dieletricos"
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Determinação do mecanismo de crescimento de filmes finos de oxinitreto de silício
(1996) [Abstract published in event] -
Engenharia de superfícies e interfaces : filmes dielétricos para tecnologia de ULSI
(1996) [Abstract published in event] -
Estudo físico-químico da estrutura óxido/nitreto/óxido
(1998) [Abstract published in event] -
Preparação de filmes ultrafinos de oxinitreto de silício por implantação de nitrogênio a baixas energias
(1998) [Abstract published in event]