Processamento de nanoestruturas em óxido de silício por bombardeio de íons individuais e ataque químico

dc.contributor.author	Silva, Cláudia Milanez	pt_BR
dc.contributor.author	Varisco, Paula	pt_BR
dc.contributor.author	Papaleo, Ricardo Meurer	pt_BR
dc.date.accessioned	2013-07-27T01:48:13Z	pt_BR
dc.date.issued	2001	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/76252	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.language.iso	por	pt_BR
dc.relation.ispartof	Salão de Iniciação Científica (13. : 2001 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2001.	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.subject	Física	pt_BR
dc.title	Processamento de nanoestruturas em óxido de silício por bombardeio de íons individuais e ataque químico	pt_BR
dc.type	Resumo publicado em evento	pt_BR
dc.contributor.event	Salão de iniciação Científica (13. : 2001 out. 22-26 : UFRGS, Porto Alegre, RS).	pt_BR
dc.identifier.nrb	000316020	pt_BR
dc.subject.session	Física IV	pt_BR
dc.subject.cnpq	Ciências exatas e da terra	pt_BR
dc.description.number	176	pt_BR
dc.type.origin	Nacional	pt_BR

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