Transporte atômico em filmes dielétricos : nanoestruturas Al2O3/Si submetidas a tratamentos térmicos em diferentes atmosferas
dc.contributor.author | Scalcon, Gustavo Frederico | pt_BR |
dc.contributor.author | Rosa, Elisa Brod Oliveira da | pt_BR |
dc.contributor.author | Salgado, Tania Denise Miskinis | pt_BR |
dc.date.accessioned | 2013-02-27T01:39:39Z | pt_BR |
dc.date.issued | 2001 | pt_BR |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10183/67050 | pt_BR |
dc.format.mimetype | application/pdf | pt_BR |
dc.language.iso | por | pt_BR |
dc.relation.ispartof | Salão de Iniciação Científica (13. : 2001 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2001. | pt_BR |
dc.rights | Open Access | en |
dc.subject | Filmes finos | pt_BR |
dc.subject | Tratamento térmico | pt_BR |
dc.subject | Silício | pt_BR |
dc.title | Transporte atômico em filmes dielétricos : nanoestruturas Al2O3/Si submetidas a tratamentos térmicos em diferentes atmosferas | pt_BR |
dc.type | Resumo publicado em evento | pt_BR |
dc.contributor.event | Salão de iniciação Científica (13. : 2001 out. 22-26 : UFRGS, Porto Alegre, RS). | pt_BR |
dc.identifier.nrb | 000311878 | pt_BR |
dc.subject.session | Química de Materiais, Materiais Cerâmicos e Estado Sólido | pt_BR |
dc.subject.cnpq | Ciências exatas e da terra | pt_BR |
dc.description.number | 131 | pt_BR |
dc.type.origin | Nacional | pt_BR |
Este item está licenciado na Creative Commons License
-
Anais e Trabalhos de Eventos (42602)Ciências Exatas e da Terra (5191)