Caracterização e estabilidade térmica de filmes dielétricos depositados sobre silício
dc.contributor.advisor | Baumvol, Israel Jacob Rabin | pt_BR |
dc.contributor.author | Tatsch, Felipe Wolff | pt_BR |
dc.date.accessioned | 2012-07-17T01:36:01Z | pt_BR |
dc.date.issued | 2005 | pt_BR |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10183/52922 | pt_BR |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.language.iso | por | pt_BR |
dc.relation.ispartof | Salão de Iniciação Científica (17. : 2005 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2005. | pt_BR |
dc.rights | Open Access | en |
dc.subject | Física | pt_BR |
dc.title | Caracterização e estabilidade térmica de filmes dielétricos depositados sobre silício | pt_BR |
dc.type | Resumo publicado em evento | pt_BR |
dc.contributor.event | Salão de Iniciação Científica (17. : 2005 out. 17-21 : UFRGS, Porto Alegre, RS). | pt_BR |
dc.identifier.nrb | 000648182 | pt_BR |
dc.subject.session | Processamento e Análise de Materiais B | pt_BR |
dc.subject.cnpq | Ciências exatas e da terra | pt_BR |
dc.description.number | 347 | pt_BR |
dc.type.origin | Nacional | pt_BR |
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