Caracterização de filmes finos de cobalto crescidos por magnetron sputtering : estudo da influência da camada semente nas propriedades estruturais e magnéticas

Abstract

Tendo em vista o grande aumento de aplicações de filmes finos para tecnologias atu- ais de armazenamento magnético e visando ampliar os conhecimentos acerca das suas propriedades magnéticas e estruturais, esse trabalho tem como objetivo o crescimento de diferentes composições de filmes finos nanoestruturados sobre substratos de silício utili- zando o método de desbastamento iônico ou Magnetron Sputtering, com seu material ferromagnético acompanhado de diversas camadas sementes crescidas utilizando Ato- mic Layer Deposition. Buscando compreender os efeitos da atuação dessas camadas buffer na cristalinidade e consequentemente na resposta magnética do filme, possibilitando destacar as vantagens da utilização de cada uma para as diferentes aplicações necessá- rias, analisando taxas de deposição, cristalinidade, reprodutibilidade, remanências, entre outras medidas, testando a ocorrência ou não de fenômenos como “Colapso do Eixo Duro” e “Recoil Curve Overshoot”, que serão detalhados posteriormente.

In view of the great increase in applications of thin films for current magnetic storage technologies and aiming to broaden the knowledge about their magnetic and structu- ral properties, this work aims at the growth of equal compositions of nanostructured ferromagnetic thin films on silicon substrates using the “Ion-Etching” or “Magnetron Sputtering” method, with their ferromagnetic material accompanied by several seed layers grown using Atomic Layer Deposition. Seeking to understand the effects of these buffer layers on cristallinity and consequently on the magnetic response of the film, this study aims to highlight the advantages of using each one for the different required applications by analyzing their deposition rates, crystallinity, reproducibility, remanen- ces, among other measures, testing the occurrence or not of phenomena such as “Hard Axis Collapse” and “Recoil Curve Overshoot”, which will be detailed later.