Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD

dc.contributor.advisor	Stedile, Fernanda Chiarello	pt_BR
dc.contributor.author	Treviso, Alex	pt_BR
dc.date.accessioned	2016-04-12T17:54:04Z	pt_BR
dc.date.issued	2015	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/136546	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.language.iso	por	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.title	Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD	pt_BR
dc.type	Resumo publicado em evento	pt_BR
dc.contributor.event	Salão de Iniciação Científica (27. : 2015 out. 19-23 : UFRGS, Porto Alegre, RS).	pt_BR
dc.subject.session	Processamento e análise de materiais	pt_BR
dc.subject.theme	Processamento e análise de materiais	pt_BR
dc.subject.cnpq	Ciências exatas e da terra	pt_BR
dc.type.presentation	Apresentação oral	pt_BR
dc.description.number	5	pt_BR
dc.identifier.sic	41501	pt_BR
dc.subject.macro	Física	pt_BR

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