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dc.contributor.authorRadtke, Claudiopt_BR
dc.contributor.authorCerveira, Gustavo Pirespt_BR
dc.contributor.authorStedile, Fernanda Chiarellopt_BR
dc.contributor.authorBaumvol, Israel Jacob Rabinpt_BR
dc.contributor.authorSalgado, Tania Denise Miskinispt_BR
dc.date.accessioned2014-08-19T02:10:15Zpt_BR
dc.date.issued1996pt_BR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10183/101324pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoporpt_BR
dc.relation.ispartofSalão de Iniciação Científica (8. : 1996 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 1996.pt_BR
dc.rightsOpen Accessen
dc.subjectFísica da matéria condensadapt_BR
dc.subjectFilmes finos dieletricospt_BR
dc.subjectTratamento termico : Tecnicas de vacuo : Crescimento de cristaispt_BR
dc.subjectFilmes finospt_BR
dc.subjectSiliciopt_BR
dc.titleEngenharia de superfícies e interfaces : filmes dielétricos para tecnologia de ULSIpt_BR
dc.typeResumo publicado em eventopt_BR
dc.contributor.eventSalão de Iniciação Científica (8. : 1996 set. 09-13 : UFRGS, Porto Alegre, RS).pt_BR
dc.identifier.nrb000149134pt_BR
dc.subject.sessionMATERIAIS/QUÍMICA/FÍSICApt_BR
dc.subject.cnpqCiências exatas e da terrapt_BR
dc.description.number022pt_BR
dc.type.originNacionalpt_BR


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