Otimização de Parâmetros no Processamento de Circuitos Integrados com Feixe de Íons Focalizado

dc.contributor.advisor	Bastos, Karen Paz	pt_BR
dc.contributor.author	Rodrigues, Roberto Isoppo	pt_BR
dc.date.accessioned	2014-04-10T12:00:10Z	pt_BR
dc.date.issued	2013	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/91816	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.language.iso	por	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.title	Otimização de Parâmetros no Processamento de Circuitos Integrados com Feixe de Íons Focalizado	pt_BR
dc.type	Resumo publicado em evento	pt_BR
dc.contributor.event	Salão de Iniciação Científica (25. : 2013 out. 21-25 : UFRGS, Porto Alegre, RS).	pt_BR
dc.subject.session	Síntese e caracterização de materiais ii	pt_BR
dc.subject.theme	Processamento e análise de materiais	pt_BR
dc.subject.cnpq	Ciências exatas e da terra	pt_BR
dc.type.presentation	Apresentação oral	pt_BR
dc.description.number	9	pt_BR
dc.identifier.sic	30080	pt_BR
dc.subject.macro	Física	pt_BR

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