Listar Microelectrónica por autor "Dartora, Gustavo Henrique Stedile"
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Investigação dos processos de crescimento térmico de dióxido de silício sobre carbeto de silício
Dartora, Gustavo Henrique Stedile (2018) [Tesis de maestría]Este trabalho investiga a cinética de oxidação do carbeto de silício (SiC) monocristalino, assim como as propriedades físico-químicas da interface e do filme fino de óxido (SiO2) formado. Serão discutidos filmes finos ...