Browsing Microelectronics by Author "Franzen, Paulo Licenio"
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Foto e eletroluminescência de filmes de nitreto de silício não estequiométrico depositados por sputterin reativo
Sombrio, Guilherme (2016) [Thesis]Filmes finos de nitreto de silício com excesso de nitrogênio foram depositados sobre silício por sputtering reativo para obter estruturas emissoras de luz. As amostras foram modificadas por implantação iônica para verificar ...