Navegação Física por Assunto "Deposição a vapor"

Resultados 1-1 de 1

    • Caracterização elétrica de estruturas metal/dielétrico high-k/Si 

      Palmieri, Rodrigo (2005) [Dissertação]
      Foram estudadas as propriedades elétricas de estruturas MOS envolvendo materiais com Zr e Hf: Al/HfO2/Si, Al/HfAlO/Si, Al/ZrO2/Si e Al/ZrAlO/Si depositadas por JVD (Jet Vapor Deposition) submetidas a diferentes doses de ...