Navegação Física por Autor "Adam, Matheus Coelho"
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Nitreto de silício depositado por sputtering reativo para aplicação em memória não-volátil
Adam, Matheus Coelho (2013) [Dissertação]No presente trabalho, foram desenvolvidos diferentes regimes de deposição de filmes de nitreto de silício, empregando a técnica de sputtering reativo, para a aplicação em memória não-volátil de aprisionamento de carga ...