Browsing Physics by Subject "Junções rasas"
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Dopagem tipo-n em estruturas SIMOX
(2007) [Dissertation]Foram estudadas a ativação elétrica e a redistribuição de As (dopante tipo n) implantado em SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Estruturas SIMOX com diferentes espessuras da camada superficial de Si e do óxido enterrado ... -
Junções rasas em Si e SIMOX
(2004) [Dissertation]Foi estudado o comportamento do As (dopante tipo n) em dois tipos diferentes de substratos de Si: bulk e SIMOX (Separation by IMplanted OXygen). Ambos os substratos receberam uma implantação de 5x1014 cm-2 de As+ com energia ... -
Pré-amorfização de silício por implantação iônica de estanho para formação de junções rasas tipo-p
(2007) [Dissertation]Nesta dissertação estudamos a possibilidade de uso de implantação iônica de estanho para pré-amorfização do silício cristalino e sua aplicabilidade na tecnologia de fabricação de junções rasas. Foi estudada a amorfização ...