Browsing Physics by Author "Peripolli, Suzana Bottega"
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Caracterização da implantação de Ne em Si (100)
Peripolli, Suzana Bottega (2007) [Thesis]Esta tese apresenta um estudo sistemático sobre a formação e evolução do sistema de bolhas, cavidades e defeitos gerados pela implantação de Ne em Si monocristalino. A implantação de gases inertes em Si tem sido explorada ...