Browsing Physics by Author "Bastos, Karen Paz"
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Estabilização de nanoestruturas dielétricas de alta permissividade por incorporação de nitrogênio
Bastos, Karen Paz (2007) [Thesis]Atualmente os candidatos mais prováveis para aplicação como dielétrico de porta nas próximas gerações de dispositivos MOSFET são os filmes de silicato e aluminato metálicos com nitrogênio em sua composição. Neste trabalho ... -
Estudo da estabilidade termodinâmica de filmes ultrafinos de HfO/sub 2/ sobre Si
Bastos, Karen Paz (2002) [Dissertation]O presente estudo relata a composição, transporte atômico, estabilidade termodinâmica e as reações químicas durante tratamentos térmicos em atmosfera de argônio e oxigênio, de filmes ultrafinos de HfO2 depositados pelo ...