Tratamentos térmicos em filmes dielétricos de HfSiO e HfSiON para a tecnologia do silício

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Date
2003
Author
Type
URI
http://hdl.handle.net/10183/39956
Event
Salão de iniciação Científica (15. : 2003 nov. 24-28 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Subject
Knowledge area
Exact and earth sciences
In
Salão de Iniciação Científica (15. : 2003 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2003.
Session
Processamento e Análise de Materiais
Collections
 
   

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