Navegação TCC Engenharias por Assunto "Oxidação térmica"
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Determinação do mecanismo de crescimento e caracterização de filmes dielétricos crescidos sobre carbeto de silício
(2020) [Trabalho de conclusão de graduação]Neste trabalho, foi investigado um material semicondutor usado como substituto para o silício (Si) em aplicações com alta potência, frequência e temperatura: o carbeto de silício (SiC). Sua principal característica de ...