High resolution profiling using ion scattering and resonant nuclear reactions
Fecha
2005Evento
Characterizations and Metrology for ULSI Technology ( 2005 : Richardson, Texas)
Materia
En
AIP conference proceedings. New York
Origen
Estranjero
Colecciones
-
Actas y Trabajos de Eventos (42154)Ciencias Exactas y Naturales (5165)
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