Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD

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Data
2015
Autor
Orientador
Tipo
URI
http://hdl.handle.net/10183/136546
Evento
Salão de Iniciação Científica (27. : 2015 out. 19-23 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Tipo de apresentação
Apresentação oral
Grande Área
Ciências exatas e da terra
Sessão
Processamento e análise de materiais
Temática
Processamento e análise de materiais
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