Listar por tema "Mass Flow Controller (MFC)"
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Automatização do sistema de liberação de precursores em um reator CVD utilizado para a produção de grafeno
(2018) [Tesinas de grado]O presente trabalho tem por objetivo desenvolver um sistema de controle de vazão de gases precursores em um reator utilizado para produzir grafeno. Neste reator são utilizados os gases hidrogênio (H2) e metano (CH4) para ...